半導體檢查顯微鏡MX4R采用大行程移動工作平臺，長工作距半復消色差物鏡，圖像銳利清晰，廣泛應用于晶圓、FPD等各項工業檢測。
穩重的機架結構設計
工業檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩定性金屬機架，保證了系統的抗震能力與成像穩定性。
其前置低手位粗微調同軸調焦機構，內置100-240V寬電壓變壓器，可適應不同地區的電網電壓。底座內部設計有風循環散熱系統，長時間使用也不會使機架過熱。
反射照明器
單顆大功率5W白色LED照明，帶斜照明機構。切換至斜照明時，可以使物體表面不同材質部分呈現立體圖案，增加觀察的對比度與視覺效果。
高性能物鏡轉換器
MX4R轉換器采用精密軸承設計，轉動手感輕巧舒適，重復定位精度高，物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制，根據需求可配置不同孔位的轉換器。
半導體檢查顯微鏡MX4R標準配置參數
型號 | MX4R | MX4RT |
可選擇的觀察方法 | 明場/斜照明/偏振光/DIC | 明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光 |
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 | |
目鏡 | PL10X/22平場高眼點目鏡 | |
觀察筒 | 30°鉸鏈式三目，分光比，雙目：三目=100：0或50:50 | |
物鏡 | LMPL無限遠長工作距金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X | |
轉換器 | 5孔內傾式轉換器，帶DIC插槽 | |
載物臺 | 4”雙層機械移動平臺，行程105x 105mm，帶金屬平板平臺，右手位X、Y移動手輪，配平臺接口 | 4”雙層機械移動平臺，行程105x 105mm，帶玻璃平臺，右手位X、Y移動手輪，配平臺接口 |
顯微鏡鏡體 | 粗微調同軸、粗調行程33mm，微調精度0.001mm,，帶粗調機構上限位及松緊調節裝置。內置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出 | 粗微調同軸、粗調行程33mm，微調精度0.001mm,，帶粗調機構上限位及松緊調節裝置。內置90-240V寬電壓變壓器，雙路電源輸出 |
反射照明器系統 | 帶可變視場光闌與孔徑光闌，均可調中心；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿。12V100W鹵素燈，光強連續可調（選擇此組照明器時，應使用MX-6R型顯微鏡鏡體） | |
透射照明系統 | / | 單顆大功率5W LED，白色，光強連續可調。N..A.0.5聚光鏡，帶可變孔徑光闌 |
