全新的12寸大工作平臺半導體/FPD檢查顯微鏡，支持≤300mm 晶圓及17英寸液晶面板的檢查，含4、6、8、12英寸多種轉盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學設計提升，為用戶提供更加靈活、快捷的操作體驗。
為用戶提供高效的半導體\FPD 光學檢測解決方案
仰角可調觀察筒
0-35°觀察角度可調，適合不同身高的用戶，降低了對工作環境的要求，讓不同的使用者都能找到上佳的觀察角度，減輕了長時間工作帶來的不適與疲勞，大幅度提高工作效率。
全新離合驅動式載物臺
MX12R 采用離合式手柄，用戶按下離合扳手就可靈活移動平臺，無需長時間捏緊手柄；按下離合按鈕，取消快速移動。避免長時間操作出現手麻現象，并加快觀察速度。 MX12R 引入精密導軌傳動機構，移動更輕更順暢，產品更加穩定可靠。
安全、高速的電動式物鏡轉換器
設有前進、后退兩檔切換模式，可快速、精確定位到所需要的觀察倍率，重復定位精度高。機械式的切換模式，有效提升了轉換器的使用壽命。
按鍵觸手可及，助您提高工作效率
MX12R 物鏡與孔徑光闌采用全新的電動控制系統，其操作按鍵位于儀器正前方，讓您觸手可及。人性化的電動設計不僅避免了頻繁的手動操作步驟，也使您的檢測工作也更加精確、靈活。
防震支架設計
機身由六端支架支撐，低重心、高穩定性全金屬機架，具備很好的抗震功能，確保像質穩定。
內置式靈活搬運裝置
MX12R 機身采用全金屬材質，穩定性非常棒。在底部兩端設有內置搬運裝置，搬運時，用戶只需將內置搬運手柄旋轉擰出，反向擰進，即可形成堅固的搬運裝置。此裝置的設定，能夠將機器重量均勻分配，只需兩人即可完成搬運，有效避免搬運過程中，無從下手、移動困難、重量分布不均勻、發生碰撞等諸多問題。搬運過程中，為防止儀器平臺移動而造成損壞，可將平臺鎖緊，以確保儀器的安全穩固性。
落射照明器
孔徑光闌與物鏡倍率自動匹配，無需再手動調節，更加快捷、高效，讓不同使用者都有同樣的觀察效果。
暗場模式下，光闌自動打開，減小使用者對顯微鏡的專業技術要求，讓顯微觀察簡單化。
滿足自動化的應用需求
● 全新升級的MX12RMOT，全自動操作模式，使您的檢測工作更加高效。
● X\Y\Z 三軸電動控制，電動型物鏡轉換，孔徑光闌自動匹配。
● 可通過軟件或者手柄控制12 英寸平臺X、Y、Z 軸的運動，完成圖像拼接功能，完美的進行全局圖像的觀察、分析。
● 獨立的操作手柄讓平臺移動更加簡單、方便，避免了因人員操作不當等原因引起的平臺損壞。
豐富的應用領域
MX12R 集成了明場、暗場、偏光、DIC 等多種觀察功能。 廣泛應用于半導體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測。
豐富多樣的各項附件可滿足多種工作環境與觀察模式為您展現真實、清晰的顯微圖像
國際領先級大視野目鏡
● 配置25mm 寬視野目鏡，相對于常規22mm 的視場范圍，視野更加平坦、寬廣，并且視場邊緣都能保證清晰明亮，給用戶更加舒適的視覺感受。
● 提供更加平坦的觀察范圍，提高工作效率。更大值域屈光度調節范圍可滿足更多用戶的使用需求。
長工作距物鏡
● 配置全套專業半復消色差金相物鏡，采用高透過率鏡片和先進的鍍膜技術。
● 長工作距設計，可有效避免用戶在切換時物鏡與樣品發生碰撞。配置20X 長工作距物鏡，滿足工業檢測領域的需求。
● 每個鏡頭均嚴格挑選高透過率的鏡片和先進的鍍膜技術，可真實還原樣品的自然色彩。
型號 | 倍率 | 數值孔徑 | 工作距離 | 蓋玻片厚度 | 齊焦距離 | 共軛距 |
（N.A） | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | ||
無限遠明暗場半復消金相DIC物鏡 | 5X | 0.15 | 13.5 | - | 45 | ∞ |
10X | 0.30 | 9.0 | - | |||
20X | 0.50 | 2.5 | 0 | |||
50X | 0.80 | 1.0 | 0 | |||
100X | 0.90 | 1.0 | 0 | |||
型號 | 倍率 | 數值孔徑 | 工作距離 | 蓋玻片厚度 | 齊焦距離 | 共軛距 |
（N.A） | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | ||
無限遠長工作距明暗場半復消金相DIC物鏡 | 20X | 0.40 | 8.5 | 0 | 45 | ∞ |
型號 | 倍率 | 數值孔徑 | 工作距離 | 蓋玻片厚度 | 齊焦距離 | 共軛距 |
（N.A） | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | ||
無限遠長工作距明暗場半復金相物鏡 | 50X | 0.55 | 7.50 | 0 | 45 | ∞ |
100X | 0.80 | 2.1 | ||||
型號 | 倍率 | 數值孔徑 | 工作距離 | 蓋玻片厚度 | 齊焦距離 | 共軛距 |
（N.A） | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | ||
無限遠明場半復消DIC物鏡 | 5X | 0.15 | 19.5 | - | 45 | ∞ |
10X | 0.30 | 10.9 | - | |||
20X | 0.50 | 3.2 | 0 | |||
50X | 0.80 | 1.2 | 0 | |||
100X | 0.90 | 1.0 | 0 |
諾曼爾斯基微分干涉襯比系統
● 用高性能微分干涉組件，可以將明場觀察下無法檢測的細微高低差，轉化為高對比度的明暗差并以立體浮雕形式表現出來，廣泛用于LCD 導電粒子、精密磁盤表面劃痕檢測等領域。
系統配置圖
外形尺寸圖
12寸大工作平臺半導體/FPD檢查顯微鏡MX12R配置參數
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 |
觀察方式 | 明場/ 暗場/ 偏光/DIC |
觀察筒 | 無限遠鉸鏈三通觀察筒，0-35°傾角可調，正像， 瞳距調節:50-76mm，分光比100:0 或0:100 |
目 鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm，視度可調，可帶單刻度十字分劃版 |
物 鏡 | 無限遠明暗場半復消金相DIC 物鏡5X 10X 20X 50X 100 |
無限遠長工作距明暗場半復消金相DIC 物鏡20X | |
無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡50X 100X | |
轉換器 | 明暗場六孔電動轉換器，帶DIC 插槽 |
機架組 | 反射式機架，前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm，微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V 寬電壓系統 |
透反機架，前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm，微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V 寬電壓系統 | |
載物臺 | 右手位14×12 英寸三層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同軸調節 ；平臺面積 718mmX420mm，移動范圍 ：356mmX305mm ；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內快速移動 ；玻璃載物臺板 ( 反射用） |
電動平臺 | 電動平臺：面積495mmX641mm，移動范圍：306mmX306mm ；軟件控制X、Y 移動，重復定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺 |
照明系統 | 明暗場反射照明器, 帶可變電動孔徑光闌，視場光闌, 中心均可調；帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像附件 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調焦 |
其 他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，反射用干涉濾色片組；高精度測微尺；DIC 組件 |
相 機 | 可配600萬、1200萬、2000萬高清CCD相機 |
軟 件 | 專業量測軟件、定制化檢測軟件 |
